星期四, 18 12 月

大陆拟建立自主极紫外光刻机 专家:距真正量产恐怕还有10年的路要走

路透报导,中国科学家已打造出一个能够生产尖端晶片的机器原型。北京当局更已设定目标,要在2028年前使用这台原型机生产出可用晶片。中国在先进晶片制造上能因此迎头赶上吗?半导体专家指出,中国试图建立自主极紫外光刻机(EUV),但要进到真正量产,恐怕还有长达10年以上的路要走。

路透报导,消息人士透露,这台原型机今年初便已完成,目前正在测试中,而这台设备由荷兰半导体巨头艾司摩尔(ASML)的一个前工程师团队打造,他们对该公司的EUV进行了逆向工程。

深圳的这台设备据传已经可以运行,并能成功产生极紫外光,但尚未生产出可用的晶片。当局目标在2028年前使用这台原型机生产出可用晶片。不过,知情人士表示,更实际的时间表是2030年,而这仍比分析师预估的时间提前数年。

知情人士并将这形容为中国版的「曼哈顿计划」,也就是美国二战时研发核武的行动。北京的目标自然是让中国最终能够使用完全本土制造的设备,生产先进晶片,将美国100%踢出供应链。

对此,半导体设备商透露,半导体微影设备,最关键是试验场域,荷商艾司摩尔过去在浸润式曝光机,以193波长击溃日商,成为全球微影设备巨擘,就是有台积电强力支持,后来推进至极紫外光(EUV)微影设备,由高达40多万个精密元件组成,也是靠目前全球制程领先的晶圆厂支持。

中国受到美国禁止艾司摩尔将先进EUV输往中国,限制中国先进制程发展,甚至建立学习曲线,因此尽管透过不断淬炼的实验去达成高精度光学系统,试图建立自主EUV设备,但要进到真正量产,恐怕还有长达10年以上的路要走。 $(document).ready(function () {nstockStoryStockInfo();});

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